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计量检测高精度双频激光干涉仪

计量检测高精度双频激光干涉仪是专为计量检测用户打造的高精度双频激光干涉仪性能优异的高精度线性位移、长度检测标定工具。

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计量检测高精度双频激光干涉仪

 

满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;

    以光刻机用激光干涉测量系统为基础,

    在保留高稳定性、高精度、高采样速率高性能的同时,

    将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,

    一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;

    典型频差6±1MHz,测速高达2m/s。

 系统组成:
     LH2000激光测头及附件
     环境补偿单元
     测量软件
     测量镜组(选配:位置度测量镜组、直线度测量镜组、角度测量镜组等)
     光学调整附件
     三脚架及其他测量附件

参数指标:

激光头尺寸330mm×110mm×95mm
激光头重量3.3kg
激光光束直径6mm
激光功率>0.5mw
真空波长
632.99nm
频差可定制 典型值6.0MHz
工作温度范围
+15℃~+35℃
激光稳频精度±0.02ppm
线性测量范围40m
线性测量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)
分辨率1nm
测量速度2m/s
工作电源220V/50Hz
储存温度范围+15℃~+45℃

 

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